概述用于壓力校驗(yàn)儀制造的反射鏡的精密EUVL光學(xué)涂層

Rigaku創(chuàng)新技術(shù)公司宣布制造用于壓力校驗(yàn)儀制造的反射鏡的精密EUVL光學(xué)涂層

對(duì)于將晶片圖案高速印刷到晶片上的壓力校驗(yàn)儀

         高性能多層光學(xué)全球供應(yīng)商Rigaku Innovative Technologies（CTO傳感器）宣布推出一系列用于制造半導(dǎo)體工業(yè)晶片圖案印刷反射鏡的精密極紫外光刻（EUVL）光學(xué)涂層。 CTO傳感器的壓力校驗(yàn)儀是在掃描儀工具內(nèi)使用的光鏈的關(guān)鍵要素，其以每小時(shí)125個(gè)晶片的速度將芯片圖案印刷到晶片上。

         CTO傳感器涂層用于下一代光刻技術(shù)，其將使得半導(dǎo)體工業(yè)能夠繼續(xù)減小印刷晶體管尺寸。這通過(guò)大大增加可以在芯片上印刷的晶體管的數(shù)量來(lái)增加器件功能。此外，芯片消耗更少的功率，這是延長(zhǎng)器件電池壽命的關(guān)鍵因素。新芯片將用于繼續(xù)智能手機(jī)技術(shù)，GPS設(shè)備，家庭娛樂(lè)和許多其他無(wú)線應(yīng)用的發(fā)展。

         CTO傳感器在世界級(jí)壓力校驗(yàn)儀設(shè)計(jì)和制造方面擁有30多年的經(jīng)驗(yàn)，是該行業(yè)唯一的獨(dú)立體積制造商。它是最早投資研發(fā)用于EUVL設(shè)備的多層涂層的公司之一。這種深厚的經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)獨(dú)特地使Rigaku滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求的精度要求。

         基于其獨(dú)特的現(xiàn)有“在線”多層涂層沉積系統(tǒng)，CTO傳感器最近開(kāi)發(fā)并安裝了第二個(gè)在線高通量系統(tǒng)。新的沉積系統(tǒng)由兩個(gè)獨(dú)立的在線系統(tǒng)組成，可同時(shí)沉積4個(gè)直徑達(dá)800毫米的大型光學(xué)元件。它還可用于在同步加速器和其他應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)高達(dá)1.5米長(zhǎng)的基板上的高精度涂層，具有復(fù)雜的2維d間距分布模式。新系統(tǒng)還具有非常低的缺陷率。

         作為x射線/ EUV多層涂層的領(lǐng)導(dǎo)者，Rigaku光學(xué)在整個(gè)產(chǎn)品系列中具有更好的性能和更好的性能一致性。此外，Rigaku已經(jīng)開(kāi)發(fā)了一個(gè)過(guò)程，以翻新光學(xué)接近原始的性能水平。翻新過(guò)程增加了光學(xué)壽命并抵消了污染和輻射損害的影響，對(duì)于降低生產(chǎn)成本至關(guān)重要。